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洁净室气密测试的作用用途是什么

洁净室气密测试的作用用途是什么

日期:2019-10-16 11:41
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摘要:
    洁净室气密测试主要是检验洁净室的墙壁、地板、顶棚、管线以及其他防护屏障是否足够严密, 避免空气从洁净室泄漏出去或室外污染空气渗入室内。

    1、保持室内为正压或负压均能满足检验要求,但条件允许时,负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验。

    2、可按以下方法进行检测:

    1)压力衰减法:使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系统,观察压力随时间衰减到起始压力的一半所用的时间,即为测量室内正压或负压的半衰期。

    2)恒压法:使室内达到某一正压,同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气即为泄量。使室内达到一负压,使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。

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